半导体切割刀片|99黄色片网站|晶圆切割刀|99黄色片|晶圆划片刀|99黄色|划片机刀片|电镀软刀-深圳西斯特

磨齒誤差

產(chǎn)生原因

消除方法

齒形均勻偏斜，但兩邊齒形偏斜方向相反

砂輪修整器金剛石位置對齒輪軸線偏移

調(diào)整砂輪修整器金剛石的位置使其對稱于齒輪軸線

兩邊齒形均勻偏斜

砂輪修整器和金剛石對齒輪軸線的位置不對

向兩相反方向調(diào)整兩個金剛石位置。同時，調(diào)整磨削深度

一邊齒形均勻偏斜

一邊的金剛石對齒輪軸線的位置未調(diào)整對

重新調(diào)整一邊的金剛石的位置

齒形上的一段發(fā)生偏差

齒形樣板不正確，砂輪磨損，金剛石和四連桿修整器未調(diào)好

更換或修理齒形樣板，修整砂輪，重新調(diào)整金剛石及四連桿機構(gòu)

齒根偏厚

修整砂輪外圓的金剛石未調(diào)好、齒輪磨入齒槽的深度不夠（同時齒厚過大），砂輪兩角磨損大

減小修整砂輪外圓的金剛石伸出半徑，加大砂輪磨入齒槽的深度，重新修整砂輪

齒距累計誤差

分度盤安裝偏斜或徑向跳動過大，工件安裝偏心，頭架頂尖偏擺過大

正確安裝分度盤，校正徑向跳動，重新安裝工件調(diào)整頭架頂尖，減小偏擺

兩邊齒面齒向偏差方向相同

在垂直于砂輪對稱中心線的平面中，兩頂尖偏離旋轉(zhuǎn)軸線

調(diào)整兩頂尖使其在同一軸線上，并處于砂輪對稱中心的平面中

兩邊齒面齒向偏差方向相反

在砂輪對稱中心線的平面中，兩頂尖偏離旋轉(zhuǎn)軸線

調(diào)整兩頂尖使其在同一軸線上，并處于砂輪對稱中心的平面中

齒圈相對兩邊的齒向偏斜方向相反

工件軸線和工件旋轉(zhuǎn)軸線不同軸，工件端面安裝偏斜

調(diào)整兩頂尖，使其軸線與工件軸線同軸，修正工件心軸的端面跳動